一、前言

随着我国半导体、制芯业的发展，高纯气体管道的应用也越来越广泛，象半导体、电子、医药、食品等行业都不同程度的使用了高纯气体管道，因此高纯气体管道的施工对于我们来说也越来越重要。

二、适用范围

本工艺主要适用于电子、半导体厂房的气体管道安装、测试，焊接薄壁不锈钢气体管道，同时也适用于医药、食品等厂房的洁净管道施工。

三、工艺原理

    根据工程特点，工程的施工前后分为三个步骤，每一步都要经过严格的质量和洁净度检查，***步是管道的预制，为保证洁净要求，管道的预制一般是在1000级的预制间内进行；第二步是现场安装；第三步是系统的测试，系统测试主要是对管道内的尘埃粒子、露点、含氧量、碳氢化合物的含量进行测试。

四、主要施工要点

（一）施工前的准备

    1、组织劳动力，准备施工中使用的机具、设备。

    2、搭建预制间，洁净度1000级。

    3、施工图分析，根据工程特点及实际情况编制施工方案，做好技术交底。

（二）管道预制

    1、由于高纯气体管道要求的洁净度较高，为了减少安装现场的焊接工作量，确保洁净度，所以管道的施工先在1000级的预制间中预制，施工人员应穿洁净服，使用的工机具应保证洁净，另外施工人员应有较强的洁净意识，施工过程尽量减少对管子的污染。       

     2、管道的下料管道下料使用的是专用的切管工具，切出的端面和管轴心线垂直，切管时应采取措施避免外界的灰尘、空气对管子内部的污染，下好的料应分组编号以便于组对焊接。       

     3、管道焊接，管道焊接前应先编制焊接程序输入到自动焊机，试焊样品，样品合格后，方能焊接，进行完一天的焊接后，再焊样品，如果样品合格，由于焊接参数一直储存在焊机里，自动焊机焊接时又非常稳定，所以焊缝质量也是合格的。焊接质量由微机控制，减少了由于人为因素对焊接质量的影响，既提高了工作效率，又能得到高品质的焊缝。

    4、焊接工序

 高纯气体管道施工

（三）现场安装

1、高纯气体管道的现场安装应整洁干净，安装人员必须戴洁净手套。

2、支架设置距离应符合图纸设计要求，每一固定点套上EP管专用的橡胶套。

    3、预制好的管子运到现场，不能磕碰踩踏，不能直接放到地面上，担上支架后，立即上管卡。

4、现场的管道焊接和预制阶段管道焊接程序相同。

5、焊接完毕经有关人员对焊口样品及管道上的焊口检验合格后，贴焊口标签，填写焊接记录。

（四）系统测试

1、系统检测是高纯气体施工的***后一环，它是在管道压力试验、吹扫结束后进行。

2、系统测试使用的气体首先是合格气体，气体的洁净度、含氧量、露点及碳氢化合物应符合要求。

3、指标的检测是通过在管道里充入合格气体，在出口处用仪器测量，管道里吹出的气体合格了，说明这条管路指标合格了。

五、材料

高纯气体管道按其流通介质的工艺要求一般采用薄壁不锈钢管，通常采用316L（00Cr17Ni14Mo2）。主要有铬、镍、钼三种合金元素，铬的存在提高了不锈钢在氧化性介质中的耐腐蚀性，形成一层富铬氧化膜；而钼的存在则提高了不锈钢在非氧化性介质中的耐腐蚀性；镍是奥氏体的形成元素，它们的存在既提高了钢的耐腐蚀性，又提高了钢的工艺性能。