广州禄米承接实验室空气管道设计安装
实验室在使用高纯气体时存在着各类危险因素，气瓶本身的超高压会使气路部件产生崩裂的危险，同时根据气体性质，又分为易燃易爆、有毒、易腐蚀等各类危险，如何安全有效的将气体输送到使用点，是气路系统要解决的问题。采用专用减压设备、专用输气管路、专用探测报警设备以及专用切断泄压设备等，使危险情况降到***低，或发生危险状况时*时间报警并自动进行紧急处理。
          实验室常用气体：氦气、氮气、氩气、乙炔、甲烷、丙烷、氢气、空气等
          1、供气系统包括气源集合压力控制部分、输气管线部分、二次调压分流部分与仪器连接的终端部分。供气系统要求具有良好的气密性、高洁净度、耐用性和安全可靠。
          2、管道、阀件、管件、接头等，如减压器、终端压力调节部分、截止阀、焊接接头等所有部件均为316L不锈钢材质，管路采用BA级内外抛光。
          3、具备确保输送到仪器的气体纯度的控制措施。
          4、能满足实验仪器对气体不间断连续使用的要求，使用过程中根据不同实验仪器工作条件对整体或局部气体压力、流量进行全量程调整，达到不同检验条件的要求。
          5、不锈钢减压器的选材要求承受压力必须大于钢瓶***大设计压力。
          6、为保证气密性，除了需要拆卸维护和与仪器对接的部位采用卡套连接外，其余输气管线部分必须全部采用全自动焊接技术焊接完成。要尽可能减少因接点引起的气体泄漏，输气管路部分转弯处应避免或尽可能减少弯头的使用。
          7、气瓶柜内设置的报警系统应能对室内的可燃气体及大气氧含量进行实时检测，并设置联动机制。
          8、设置钢瓶、管线等安全保护措施。
          9、气源部分由钢瓶和气体发生器供给，确保气体纯度，必须具备输出的稳定性和连续性。
         10、不锈钢减压器必须具备输出稳定性和连续性，高压金属软管连接钢瓶必须保证气密性。
         11、气体终端压力调节部分：对主气路输送的气体应独立控制，进气压力和出气压力显示，按照不同分析仪器对气体使用压力的不同要求进行二次调压，必须保证对实验室分析仪器有稳定的供气气流，设置中断转换方便不同仪器对接。

 

气体种类划分：
    （1）易燃性气体：把自燃、易燃、可燃气体等都定义为这类气体。如常温下的SiH4气体只要与空气接触就会燃烧，当环境温度达到一定时，PH3与B2 H6等气体也会产生自燃。可燃易燃气体都有一定的着火燃烧爆炸范围，即上限、下限值。此范围越大的气体起爆炸燃烧危险性就越高，如B 2H6的爆炸上限为98%，爆炸下限为0.9%。属于易燃气体有H 2,NH3,PH3,DCS,ClF3 。

   （2）毒性气体（Toxic Gas）：半导体制造行业中使用的气体很多都是对人体有害、有毒的。其中又以AsH3, B 2H6,PH3等气体的毒性***大，它们的阈限值TLV（Threshold Limited Valve）分别只有50×10-9,100×10 -9,300×10-9。这些气体在工作环境中的允许浓度极微，因此在贮存、输送以及使用的过程中都要求特别的小心。一般都应该采取特定的技术措施来控制使用这些气体。NO, C4F6,C5F8 ,NF3,CH 3F等都属于毒性气体。

（3）腐蚀性气体（Corrosive Gas）：这些腐蚀性气体通常同时也兼有较强的毒性。腐蚀性气体在干燥状态下一般不易侵蚀金属，但在遇到水的环境下就显示出很强的腐蚀性，如HCl, HF, PCl3, SiF4,ClF3，WF6等。

（4）惰性气体(Inert Gas)： 隋性气体本身一般不会直接对人体产生伤害，在气体传输过程中，相对于安全上的要求不如以上其他气体严格。但惰性气体具有窒息特性，在密闭空间若发生泄漏会使人窒息而造成工伤事故。属于这类的气体有C2 F6,CF4,SF6,CHF 3等。

（5）氧化性气体（Oxide Gas）：这类气体有较强的氧化性，一般同时具有其他特性，如毒性或腐蚀性等。属于这类的气体有ClF3 ,Cl2,NF3等。
（6）大宗气体。属于这类气体有N2，O2，CO2等

 

 

 

 

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